Korea University R&D Center RAITH PIONEER Two DVIA-MB1000 Installation Report

DVIA-MB1000

Korea University

RAITH

1. 개요

고려대학교 R&D센터에 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 전, DVIA-MB1000 상판에서의 진동이 장비 진동 스펙을 만족하는지 확인하기 위해 진동측정을 진행하였습니다.

DVIA-MB1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.

Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 240508R3

대일시스템 이채원

2024년 07월 05일

고려대학교 R&D센터 338호

Manufacturer: RAITH

Equipment: Electron Beam Lithography

Model: PIONEER Two

Equipment is uninstalled

1회차

1) Data Physics

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

F Span: 200

Lines: 3200

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

장비의 모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 모두 모든 대역대에서 VC-G까지 감쇠를 시킵니다.

측정 장소	장비 상태	방향	장비 진동 스펙	측정 값	측정 결과
바닥 (R&D센터 338호)	미설치	Vertical	8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	2.07E-06 m/s @ 10 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	1.15E-07 m/s @ 10 Hz	✓ PASS
바닥			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	5.20E-06 m/s @ 31.5 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	2.08E-07 m/s @ 31.5 Hz	✓ PASS
바닥		Left to Right	8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	1.70E-06 m/s @ 6.3 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	1.67E-06 m/s @ 6.3 Hz	✓ PASS
바닥			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	1.87E-06 m/s @ 63 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	7.25E-08 m/s @ 63 Hz	✓ PASS
바닥		Front to Back	8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	2.47E-06 m/s @ 2.5 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz	1.64E-07 m/s @ 2.5 Hz	✓ PASS
바닥			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	1.90E-06 m/s @ 63 Hz	✗ FAIL
DVIA-MB1000			1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz	6.3E-08 m/s @ 63 Hz	✓ PASS