고려대학교 R&D센터 RAITH PIONEER Two DVIA-MB1000 설치 보고서
DVIA-MB1000
Korea University
RAITH
1. 개요
고려대학교 R&D센터에 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 전, DVIA-MB1000 상판에서의 진동이 장비 진동 스펙을 만족하는지 확인하기 위해 진동측정을 진행하였습니다.
DVIA-MB1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
2. 제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 240508R3
3. 엔지니어
대일시스템 이채원
4. 튜닝 날짜
2024년 07월 05일
5. 설치 장소
고려대학교 R&D센터 338호
6. 고객사 장비
Manufacturer: RAITH
Equipment: Electron Beam Lithography
Model: PIONEER Two
7. 장비 진동 스펙
8. 장비 상태
Equipment is uninstalled
9. 튜닝 횟수
1회차
10. 진동 측정 장비
1) Data Physics
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
11. 진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
12. 결론
장비의 모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 모두 모든 대역대에서 VC-G까지 감쇠를 시킵니다.
13. 측정 데이터
| 측정 장소 | 장비 상태 | 방향 | 장비 진동 스펙 | 측정 값 | 측정 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 (R&D센터 338호) | 미설치 | Vertical | 8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz | 2.07E-06 m/s @ 10 Hz | ✗ FAIL |
| DVIA-MB1000 | 1.15E-07 m/s @ 10 Hz | ✓ PASS | |||
| 바닥 | 1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz | 5.20E-06 m/s @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ||
| DVIA-MB1000 | 2.08E-07 m/s @ 31.5 Hz | ✓ PASS | |||
| 바닥 | Left to Right | 8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz | 1.70E-06 m/s @ 6.3 Hz | ✗ FAIL | |
| DVIA-MB1000 | 1.67E-06 m/s @ 6.3 Hz | ✓ PASS | |||
| 바닥 | 1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz | 1.87E-06 m/s @ 63 Hz | ✗ FAIL | ||
| DVIA-MB1000 | 7.25E-08 m/s @ 63 Hz | ✓ PASS | |||
| 바닥 | Front to Back | 8.0E-07 m/s @ 1.6 - 16 Hz | 2.47E-06 m/s @ 2.5 Hz | ✗ FAIL | |
| DVIA-MB1000 | 1.64E-07 m/s @ 2.5 Hz | ✓ PASS | |||
| 바닥 | 1.60E-06 m/s @ 16 - 100 Hz | 1.90E-06 m/s @ 63 Hz | ✗ FAIL | ||
| DVIA-MB1000 | 6.3E-08 m/s @ 63 Hz | ✓ PASS |
