RAITH Voyager E-Beam DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
쑤저우에 DVIA-ML1000을 설치한 후 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.
장비가 Idle 상태일 때 진동 측정을 수행했습니다.
데이터는 Autospectrum 형태로 제시하며, 진동 수준에 대한 참고 자료도 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
직렬 번호: 260422R1-1
엔지니어
Younguk KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.27
End User
Dingxin Optoelectronics Technology (苏州鼎芯光电)
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Suzhou
고객사 장비
제조사: RAITH
장비: E-Beam
모델: Voyager
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1.6 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1.6 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
장비 상태
Idle
튜닝 요청
N/A
결론
설치 바닥과 DVIA-M-RVE 능동 제진 시스템 상판, 두 위치에서 진동 측정을 수행하고 9절에서 정의한 기준에 따라 평가했습니다.
바닥 레벨에서는 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back) 모두 지정된 기준을 충족하지 못해, 주변 바닥 조건만으로는 설치된 장비의 운전 요구 사항을 충족하기 부족함을 의미합니다.
DVIA-M-RVE 설치 후 제진 시스템에서 측정한 Vertical과 Front to Back 축은 지정된 기준을 충족합니다. 그러나 Left to Right (X) 축은 약 9 Hz에서 발생하는 공명으로 기준을 벗어나고 있으며, 이는 제진 시스템 위에 설치된 장비의 기계적 간섭으로 추정됩니다. 이 기계적 간섭의 원인이 특정되고 최소화되는 대로 재튜닝을 수행하여 전 축에서 완전한 기준 충족을 달성할 예정입니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-M-RVE | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✗ FAIL | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 획득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당합니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
