RAITH Voyager DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
Suzhou에 DVIA-ML1000을 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행하였습니다.
진동 측정은 장비가 Idle 상태일 때 진행하였습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 표시하였으며, 진동 수준에 대한 참고자료를 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260422R1-2
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.28
End User
Suzhou Dingxin Photoelectric
튜닝 횟수
2nd
설치 장소
Suzhou
고객사 장비
제조사: RAITH
장비: Electron Beam Lithography system
모델: Voyager
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.8 |
| 16 | 0.8 |
| 16 | 1 |
| 100 | 1 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
진동 측정은 설치 바닥과 DVIA-ML1000 능동형 제진대 상면의 두 위치에서 수행하였으며, 9절에 정의된 기준에 따라 평가하였습니다.
바닥에서는 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back) 모두 기준을 초과하여, 설치 장소의 주변 진동 환경이 장비의 운용 요구 조건을 충족하기에 적합하지 않은 것으로 나타났습니다.
설치 구성에 맞게 제어 파라미터를 최적화하기 위해 2차 튜닝을 수행하였습니다. 조정 후 제진대에서 측정한 세 축 모두 기준을 만족하여, DVIA-ML1000이 장비 환경을 기준에 부합시키기에 충분한 감쇠 성능을 제공함을 확인하였습니다.
다만 제진대 상면에서 9–10 Hz 대역의 국부적인 응답이 관찰되었습니다. 주파수 특성과 축별 거동으로 볼 때, 이 응답은 제진대 자체가 아니라 장비와 인접 구조물 또는 연결된 유틸리티 간의 기계적 간섭에서 비롯된 것으로 추정됩니다.
측정 레벨이 기준 이내이며 장비 운용에 영향은 없을 것으로 예상되나, 잠재적인 전달 경로를 제거하기 위해 연결 라인의 배선 경로와 제진대 주변의 물리적 접촉 지점을 점검할 것을 권장합니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 취득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
고객사 장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
