ZEISS Gemini SEM 560 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
한국수자원공사 5동 수질센터 1층 클린룸에 DVIA-ML1000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260316R3
엔지니어
김태헌, 박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.24
설치 장소
한국수자원공사 5동 수질센터 1층 클린룸
End User
한국수자원공사
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Gemini SEM 560
진동 스펙
Horizontal
수평 허용 진동값 (Resolution 0.5 Hz):
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s rms] |
|---|---|
| 10 이하 | 5 미만 |
| 10 ~ 60 | 10 미만 |
| 60 초과 | 14 미만 |
Vertical
수직 허용 진동값 (Resolution 0.5 Hz):
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s rms] |
|---|---|
| 10 이하 | 4 미만 |
| 10 ~ 60 | 14 미만 |
| 60 초과 | 20 미만 |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
하드웨어: QUATTRO, Serial Number: 22436
소프트웨어: SignalCalc ACE
Accelerometer: PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
본 건은 2026년 8월 24일 한국수자원공사 5동 수질센터 1층 클린룸에서 2차 튜닝 진행하였습니다.
액티브(Active) 튜닝을 최대한으로 적용하여 안정성을 확보하였으며, 결과적으로 ZEISS사의 FE-SEM 진동 규격(Spec)을 충족시켰습니다.
최종 튜닝 완료 후 ZEISS 측에서 FE-SEM을 구동하여 해상도 확인 테스트를 진행한 결과, 진동으로 인한 이슈 없이 정상적인 성능이 구현됨을 최종 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 8절 참조 | Vertical (Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right (X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back (Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
