설치 보고서
DVIA-M Series
12-11-2025
ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (Transmissibility)
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
개요
DVIA-ML1000 능동 제진대는 ZEISS Sigma 360 FE-SEM(시리얼 250828R5)에 대해 1차 튜닝에서 의도대로 설치·작동합니다. 측정 시 장비는 On/IDLE.
진동 제어 시스템
모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 250828R5
엔지니어
이채원 — 대일시스템
튜닝 날짜
2025년 12월 11일
보고서 작성일
2025년 12월 12일
End User
N/A
튜닝 횟수
1차
Location
N/A
고객사 장비
제조사: ZEISS / FE-SEM / Model: Sigma 360
장비 상태
On/IDLE(가동·대기)
튜닝 요청
N/A
데이터·이미지
수직·좌우·전후 전달률(Transmissibility) 3축. 아래 그래프 참고.
장비 사진
이 케이스 스터디에는 별도로 싣지 않음(원본 설치 보고서 참고).
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
Reference
- 일반 VC 기준은 페이지 하단 Reference 블록과 동일.
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-11-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
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