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설치 보고서
DVIA-M Series
05-19-2025

Henkel Hitachi SU3800 SEM DVIA-ML1000 (250423R3) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Henkel
Henkel Adhesive Technologies
India
Hitachi
SEM
SU3800
DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000이 의도한 대로 정상적으로 기능함.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250423R3

담당 엔지니어

Jonghwa Suh from Daeil Systems

측정 일자

2025년 5월 19일

튜닝 일자

2025년 5월 19일

보고서 작성일

2025년 5월 19일

End User

Henkel Adhesive Technologies

설치 현장

Henkel Adhesive Technologies India Private Limited, 6th floor, SEM room

장비 상태

Equipment installed / Turned off

장비

제조사: Hitachi

장비: SEM

모델: SU3800

측정 장비

9.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

9.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 설정

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

진동 사양

결론

측정 데이터는 모든 방향에서 진동 사양을 충족한다.

측정 요약

측정 장소상태방향FloorDVIA-ML1000
Henkel Adhesive Technologies SEM room
1. Floor
2. DVIA-ML1000
Equipment Installed/Turned offVerticalVC-E @16 HzVC-G @16 Hz
Left to RightVC-D @1.6 HzVC-G @1.6 Hz
Front to BackVC-C @2.5 HzVC-G @2.5 Hz

UI 프로그램 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
Workshop (ISO)분명하게 느껴지는 진동. 작업장·비민감 구역에 적합.800 (32,000)
Office (ISO)인지 가능한 진동. 사무실 등에 적합.400 (16,000)
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 진동. 침실 구역·컴퓨터 장비 등에 적합한 경우 다수. 반도체 프로브·저배율 현미경 등.200 (8,000)
Operating Theatre (ISO)진동을 느끼기 어렵다. 수술실·약 100배율 현미경 등 저민감 장비에 적합.100 (4,000)
VC-A광학 현미경 400배율 등에 충족 가능.50 (2,000)
VC-B3μm 선폭 수준 검사·리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)
VC-D여러 SEM·TEM 및 E-BEAM 장비 등을 포함한 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)
VC-E가장 까다로운 초정밀 장비 및 나노 E-BEAM 리소 등에 해당.3.12 (125)
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 일반적인 클린룸 등에서는 달성이 어려움이 큼. 설계 기준으로는 권장되지 않고 평가용.1.56 (62.5)
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 일반적인 클린룸 등에서는 달성이 어려움이 큼. 설계 기준으로는 권장되지 않고 평가용.0.78 (62.5)

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-19-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Henkel
Henkel Adhesive Technologies
India
Hitachi
SEM
SU3800
DVIA-ML1000