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설치 보고서
DVIA-M Series
03-26-2026

Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000 (250421R6) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SEM
SU8230
DVIA-M1000
DVIA-ML1000

Contents

개요

DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250421R6

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2026년 3월 24일

보고서 작성일

2026년 3월 26일

End User

N/A

튜닝 횟수

1st

설치 위치

N/A

장비

제조사: Hitachi

장비: SEM

모델: SU8230

진동 사양

Vertical: VC-F, Horizontal: VC-G

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

데이터 및 이미지

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 Transmissibility

좌우 VC curves

좌우 Autospectrum

좌우 Transmissibility

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 Transmissibility

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-26-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SEM
SU8230
DVIA-M1000
DVIA-ML1000

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