설치 보고서

03-26-2026

Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

Hitachi

SEM

SU8230

DVIA-M1000

DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250421R6

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2026년 3월 24일

보고서 작성일

2026년 3월 26일

End User

N/A

튜닝 횟수

1st

설치 위치

N/A

장비

제조사: Hitachi

장비: SEM

모델: SU8230

진동 사양

Vertical: VC-F, Horizontal: VC-G

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

데이터 및 이미지

수직 VC Curves

이미지 1 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

수직 Autospectrum

이미지 2 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

수직 Transmissibility

이미지 3 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

좌우 VC curves

이미지 4 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

좌우 Autospectrum

이미지 5 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

좌우 Transmissibility

이미지 6 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

전후 VC Curves

이미지 7 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

전후 Autospectrum

이미지 8 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

전후 Transmissibility

이미지 9 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

장비 사진

이미지 10 · Hitachi SEM SU8230 DVIA-M1000(250421R6) 설치 보고서

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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