설치 보고서
DVIA-M Series
03-10-2026
Hitachi SU3800 SEM DVIA-ML1000 (241016R4) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SU3800
SEM
DVIA-ML1000
241016R4
Contents
개요
The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-ML1000
Serial Number: 241016R4
담당 엔지니어
Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
March 4, 2026
보고서 작성일
March 10, 2026
End User
N/A
튜닝 횟수
1st
설치 위치
N/A
장비
Manufacturer: Hitachi
Equipment: SEM
Model: Hitachi SU3800
진동 사양
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
Tuning Request
N/A
측정 요약
| Measurement Point | Status | Axis | VibrationSpecification | Floor | DVIA-ML1000 | Result | Result |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor 2.DVIA-ML1000 | Equipment is Turned on/IDLE | Vertical | Refer to item 9 | VC-D @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 2.5 Hz | VC-G @ 2.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-D @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-10-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SU3800
SEM
DVIA-ML1000
241016R4
