설치 보고서
DVIA-M Series
02-05-2026
Hitachi SEM Hitachi SU3800SEPlus DVIA-ML1000 (250304R4) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SEM
SU3800SEPlus
DVIA-ML1000
250304R4
Contents
개요
The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250304R4
담당 엔지니어
Chaewon Lee
튜닝 일자
26.02.03
보고서 작성일
26.02.05
End User
N/A
튜닝 횟수
1st
설치 위치
N/A
장비
제조사: Hitachi
장비: SEM
모델: Hitachi SU3800SEPlus
진동 사양
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
측정 요약
| Measurement Point | Status | Axis | Measurement Data | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML1000 | |||
| 1.Floor 2.DVIA-ML1000 | PXB-BE-200HV is turned on/IDLE | Vertical | VC-C @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz |
| Left to Right | VC-B @ 2.5 Hz | VC-G @ 2.5 Hz | ||
| Front to Back | VC-B @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ||
데이터 및 이미지
Figure
Vertical Autospectrum
Vertical Autospectrum
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-05-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
SEM
SU3800SEPlus
DVIA-ML1000
250304R4
