설치 보고서

DVIA-M Series

09-10-2024

YIMO Southern University of Science and Technology HITACHI Regulus8230 SEM DVIA-M1000 (240401R1-3) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Southern University of Science and Technology

Shenzhen

HITACHI

Regulus8230

SEM

DVIA-M1000

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 240401R1-3

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

September 04, 2024

보고서 작성일

September 10, 2024

Prepared for

Southern University of Science and Technology

튜닝 횟수

2nd(1st :24.05.16)

설치 위치

Shenzhen

장비

제조사: HITACHI

장비: SEM

모델: Regulus8230

장비 상태

The equipment is installed

튜닝 요청

N/A

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일09-10-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Southern University of Science and Technology

Shenzhen

HITACHI

Regulus8230

SEM

DVIA-M1000

YIMO Southern University of Science and Technology HITACHI Regulus8230 SEM DVIA-M1000 (240401R1-3) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

Prepared for

튜닝 횟수

설치 위치

장비

장비 상태

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

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