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설치 보고서
DVIA-M Series
07-05-2024

YIMO Southern University of Science and Technology ZEISS Crossbeam 350 FIB-SEM DVIA-M1000 (240401R1-1) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
Southern University of Science and Technology
Shenzhen
ZEISS
Crossbeam 350
FIB-SEM
DVIA-M1000

Contents

개요

DVIA-M1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 240401R1-1

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2024년 5월 16일

보고서 작성일

2024년 7월 5일

Prepared for

Southern University of Science and Technology

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shenzhen

장비

제조사: ZEISS

장비: FIB-SEM

모델: Crossbeam350

장비 상태

The equipment is installed

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-05-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
Southern University of Science and Technology
Shenzhen
ZEISS
Crossbeam 350
FIB-SEM
DVIA-M1000

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