설치 보고서

DVIA-M Series

07-05-2024

YIMO Southern University of Science and Technology ZEISS GeminiSEM360 SEM DVIA-M1000 (240401R1-2) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Southern University of Science and Technology

Shenzhen

ZEISS

GeminiSEM360

SEM

DVIA-M1000

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 240401R1-2

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

May 16, 2024

보고서 작성일

July 05, 2024

Prepared for

Southern University of Science and Technology

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shenzhen

장비

제조사: ZEISS

장비: SEM

모델: GeminiSEM360

장비 상태

The equipment is installed

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일07-05-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Southern University of Science and Technology

Shenzhen

ZEISS

GeminiSEM360

SEM

DVIA-M1000

YIMO Southern University of Science and Technology ZEISS GeminiSEM360 SEM DVIA-M1000 (240401R1-2) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

Prepared for

튜닝 횟수

설치 위치

장비

장비 상태

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

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