Tier-1 Semiconductor Zeiss Gemini 2 FE-SEM DVIA-MB1000 (231128R4) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 용인캠퍼스에 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행했습니다.
장비 Turned on 및 IDLE 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 231128R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 서종화
튜닝 날짜
2025년 05월 29일
보고서 작성일
25.05.29
End User
Tier-1 Semiconductor
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 용인캠퍼스 R&D동
고객사 장비
Manufacturer: Zeiss
Equipment: FE-SEM
Model: Gemini 2
진동 스펙
N/A
장비 상태
장비 Turned on 및 IDLE
튜닝 횟수
1st
진동 측정 장비
11.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
11.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: 90
결론
Vertical: 1 Hz에서 바닥 진동이 VC-F에서 VC-G로 감쇠되었습니다.
Left to Right: 1 Hz에서 바닥 진동이 VC-F에서 VC-G로 감쇠되었습니다.
Front to Back: 1 Hz에서 바닥 진동이 VC-F에서 약 45% 감쇠되었습니다.
결과요약
| 측정 장소 | 장비상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-MB1000 |
|---|---|---|---|---|
| 위치: Tier-1 Semiconductor 용인캠퍼스 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-F @ 1 Hz | VC-G @ 1 Hz |
| Left to Right | VC-F @ 1 Hz | VC-G @ 1 Hz | ||
| Front to Back | VC-F @ 1 Hz | VC-F @ 1 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Narrow Band
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Narrow Band
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Narrow Band
Front to Back Transmissibility
장비 사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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