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설치 보고서
DVIA-M Series
05-15-2026

Jinhae Armed Forces Financial Management Command ZEISS FE-SEM EVO10 DVIA-MB1000 (230704R4) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
FE-SEM
EVO10
DVIA-MB1000
230704R4
Jinhae

Prepared for

진해 국군재정관리단

개요

진해 국군재정관리단에 DVIA-MB1000 설치 튜닝 및 진동측정을 진행했습니다.

장비 Turn off 상태로 진동 측정 했습니다.

DVIA-MB1000을 노트 PC와 연결하여 UI Program을 통한 튜닝, PULSE 14 장비를 이용한 진동 측정으로 점검 진행했습니다.

측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 230704R4

담당 엔지니어

Chaewon Lee, Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2024년 2월 21일

보고서 작성일

23.02.26

튜닝 횟수

1st tuning

설치 위치

진해 국군재정관리단, 진해

장비

ZEISS FESEM EVO10

장비 상태

Equipment is installed/ Turned off

장비 진동 스펙

30 Hz 이하 6μm/s

30 Hz 이상 12μm/s

EVO10 specification VC curve

측정 장비

10.1) PULSE 14

Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-B-040

Software: LapShop Application (PULSE Lapshop Ver14)

10.2) Measurement Setting

Bandwidth: 0 - 200Hz

Lines: 800

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Engineering Units:

10.3) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

10.4) Measurement Method

상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.

Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.

결론

Vertical, Left to Right, Front to Back 방향에서 1Hz를 제외한 모든 주파수 대역의 지반진동이 VC-G까지 감쇠되었습니다.

모든 방향에서 DVIA-MB1000의 진동이 ZEISS EVO10의 진동 허용 스펙 이하입니다.

측정 결과 요약

측정 지점VC 곡선
수직 1-30 Hz수직 30-80 Hz
FloorF(PASS)G(PASS)
MB1000F(PASS)G(PASS)
EVO10 SpecDC

데이터 및 이미지

수직 전달률

수직 VC 곡선

좌우 전달률

좌우 VC 곡선

전후 전달률

전후 VC 곡선

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-15-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
FE-SEM
EVO10
DVIA-MB1000
230704R4
Jinhae