Jinhae Armed Forces Financial Management Command ZEISS FE-SEM EVO10 DVIA-MB1000 (230704R4) Installation Report
Contents
Prepared for
진해 국군재정관리단
개요
진해 국군재정관리단에 DVIA-MB1000 설치 튜닝 및 진동측정을 진행했습니다.
장비 Turn off 상태로 진동 측정 했습니다.
DVIA-MB1000을 노트 PC와 연결하여 UI Program을 통한 튜닝, PULSE 14 장비를 이용한 진동 측정으로 점검 진행했습니다.
측정 Data를 VC Curve Graph에 표기하였습니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 230704R4
담당 엔지니어
Chaewon Lee, Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2024년 2월 21일
보고서 작성일
23.02.26
튜닝 횟수
1st tuning
설치 위치
진해 국군재정관리단, 진해
장비
ZEISS FESEM EVO10
장비 상태
Equipment is installed/ Turned off
장비 진동 스펙
30 Hz 이하 6μm/s
30 Hz 이상 12μm/s
EVO10 specification VC curve
측정 장비
10.1) PULSE 14
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-B-040
Software: LapShop Application (PULSE Lapshop Ver14)
10.2) Measurement Setting
Bandwidth: 0 - 200Hz
Lines: 800
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units:
10.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
10.4) Measurement Method
상부(Top plate), 하부(Floor)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착합니다.
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향으로 진동을 측정합니다.
결론
Vertical, Left to Right, Front to Back 방향에서 1Hz를 제외한 모든 주파수 대역의 지반진동이 VC-G까지 감쇠되었습니다.
모든 방향에서 DVIA-MB1000의 진동이 ZEISS EVO10의 진동 허용 스펙 이하입니다.
측정 결과 요약
| 측정 지점 | VC 곡선 | |
|---|---|---|
| 수직 1-30 Hz | 수직 30-80 Hz | |
| Floor | F(✓ PASS) | G(✓ PASS) |
| MB1000 | F(✓ PASS) | G(✓ PASS) |
| EVO10 Spec | D | C |
데이터 및 이미지
수직 전달률
수직 VC 곡선
좌우 전달률
좌우 VC 곡선
전후 전달률
전후 VC 곡선
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
Tier-1 Semiconductor ZEISS FE-SEM GeminiSEM 560 DVIA-MB1000 (231204R8) Installation Report

YIMO ZEISS Sigma 300VP DVIA-MB1000 Installation Report (SN 160706R1, 2026-01-07)
