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설치 보고서
DVIA-M Series
08-03-2022

ZEISS SIGMA500 (Qingdao) DVIA-ML1000 Installation Report (SN 220308R4, Aug 2022)

DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
SIGMA500
Qingdao
DVIA-ML1000
220308R4

Target equipment

ZEISS SIGMA500

Place of installation

QINGDAO

Remark

Good Performance

End user

青岛蓝谷微纳

Operator

Cheon, Seoung hoon

Date of setup

22.08.01

Date of reporting

22.08.03

Date of business trip

17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

Measurement conditions and results

Measurement date: 2022.08.01 (Monday),

Operator: DAEIL SYSTEMS, Seounghoon Cheon, Youngha Lee

Place of measurement: QINGDAO

Equipment Model: ZEISS SIGMA500

Summary of measurement results

Test Condition VC-ClassZXY
FloorEFF
Above ActiveGFF

Good omnidirectional performance.

데이터 및 이미지

Instrumentation setup

MB1000 internal program — Z axis

MB1000 internal program — X axis

MB1000 internal program — Y axis

Octave band result — Z axis

Octave band result — X axis

Octave band result — Y axis

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일08-03-2022
태그
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
SIGMA500
Qingdao
DVIA-ML1000
220308R4