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설치 보고서
DVIA-M Series
02-22-2023

Tier-1 Semiconductor Hitachi S-4800 DVIA-MB1000 (210609R4) Installation Report — 2023.02.22

DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Suwon
Hitachi
S-4800
FESEM
DVIA-MB1000
210609R4

Contents

Prepared for

Tier-1 Semiconductor

Prepared by

Engineer: Youngha Lee, Sangjae Lee

Tuning date: 23.02.08

Report written date: 23.02.22

DAEIL SYSTEMS (인)

출장 일자

17.12.27~17.12.29

개요

The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

Board replacement works normally.

시스템 정보

Model: DVIA-MB1000

Serial Number: 210609R4

엔지니어

Sangjae Lee, Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

Feb 08, 2023

설치 위치

Tier-1 Semiconductor research site, Suwon

장비

FESEM Hitachi s-4800

진동 측정 결과 요약

Measurement PointFloorActive
Z-axis (Vertical) 1-10 HzAD
Z-axis (Vertical) 10-80 HzAE
X-axis (Left to Right) 1-10 HzCF
X-axis (Left to Right) 10-80 HzBG
Y-axis (Front to Back) 1-10 HzBE
Y-axis (Front to Back) 10-80 HzBG

데이터 및 이미지

Z-axis (Vertical) Floor VC curves

Z-axis (Vertical) Top VC curves

X-axis (Left to Right) Floor VC curves

X-axis (Left to Right) Top VC curves

Y-axis (Front to Back) Floor VC curves

Y-axis (Front to Back) Top VC curves

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-22-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Suwon
Hitachi
S-4800
FESEM
DVIA-MB1000
210609R4

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