Tier-1 Semiconductor Hitachi S-4800 DVIA-MB1000(210609R4) 설치 보고서 — 2023.02.22
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Suwon
Hitachi
S-4800
FESEM
DVIA-MB1000
210609R4
Contents
Prepared for
Tier-1 Semiconductor
Prepared by
Engineer: Youngha Lee, Sangjae Lee
Tuning date: 23.02.08
Report written date: 23.02.22
DAEIL SYSTEMS (인)
출장 일자
17.12.27~17.12.29
개요
The DVIA-MB1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
Board replacement works normally.
시스템 정보
Model: DVIA-MB1000
Serial Number: 210609R4
엔지니어
Sangjae Lee, Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
Feb 08, 2023
설치 위치
Tier-1 Semiconductor research site, Suwon
장비
FESEM Hitachi s-4800
진동 측정 결과 요약
| Measurement Point | Floor | Active |
|---|---|---|
| Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | A | D |
| Z-axis (Vertical) 10-80 Hz | A | E |
| X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | C | F |
| X-axis (Left to Right) 10-80 Hz | B | G |
| Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | B | E |
| Y-axis (Front to Back) 10-80 Hz | B | G |
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Floor VC curves
Z-axis (Vertical) Top VC curves
X-axis (Left to Right) Floor VC curves
X-axis (Left to Right) Top VC curves
Y-axis (Front to Back) Floor VC curves
Y-axis (Front to Back) Top VC curves
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일02-22-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Suwon
Hitachi
S-4800
FESEM
DVIA-MB1000
210609R4
