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설치 보고서
DVIA-M Series
11-13-2017

Tier-1 Semiconductor ZEISS SIGMA 300 DVIA-MB1000 (MB1000 P53) Installation Report — 2017.11.13

DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
SIGMA 300
DVIA-MB1000
MB1000
P53

(MB1000 Set up)

ZEISS — Tier-1 Semiconductor (Manila).

(MB1000_P53)

타겟 장비 사진

타겟 장비ZEISS-SIGMA 300
설치장소필리핀 마닐라 Tier-1 Semiconductor 분석실 2층
특이사항제진대 성능 양호
END USERTier-1 Semiconductor
출장자 : 최형문출장일 : 17.11.07~17.11.11
측정일 :
2017. 11. 08
작성일 : 17.11.13

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일

측정일: 2017. 11. 08 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

측정장소

측정장소 : 필리핀 마닐라 Tier-1 Semiconductor 분석실 2층

장비 모델

장비 모델 : ZEISS-SIGMA 300

측정 조건 및 결과

측정결과 요약

Test Condition

VC-Class (일반 조건)

Test ConditionVC-Class ZVC-Class XVC-Class Y
건물 바닥CCC
제진대 상판GGG
SIGMA 300 상부GGG

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.

주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.

이미지 측정시 고객 성능 만족함.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z axis

X axis

Y axis

Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)

Z axis

X axis

Y axis

Octave Band Result (BASE: 제진대 상부, TOP: ZEISS장비 상부)

Z axis

X axis

Y axis

Acceleration Spectrum (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)

Z axis

X axis

Y axis

Acceleration Spectrum (BASE: 제진대 상부, TOP: ZEISS장비 상부)

Z axis

X axis

Y axis

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-13-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
SIGMA 300
DVIA-MB1000
MB1000
P53