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설치 보고서
DVIA-M Series
11-13-2017

ZEISS SIGMA 300 DVIA-MB1000 (MB1000_P53) Internal program — Tier-1 Semiconductor — Philippines — 2017.11.13

DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Philippines
Manila
ZEISS
SIGMA 300
DVIA-MB1000
MB1000_P53
P53

목차

Installation site photo

(MB1000_P53 Set up)

타겟 장비ZEISS-SIGMA 300
설치장소Tier-1 Semiconductor 분석실 2층, 필리핀 마닐라
특이사항제진대 성능 양호
END USERTier-1 Semiconductor

출장일 : 17.11.07~17.11.11

출장자 : 최형문

작성일 : 17.11.13

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정 일자

측정일: 2017. 11. 08 (화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

측정 장소

측정장소 : Tier-1 Semiconductor 분석실 2층, 필리핀 마닐라

장비 모델

장비 모델 : ZEISS-SIGMA 300

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test ConditionVC-Class (일반 조건) ZVC-Class (일반 조건) XVC-Class (일반 조건) Y
건물 바닥CCC
제진대 상판GGG
SIGMA 300 상부GGG

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.

측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건( SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.

주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.

이미지 측정시 고객 성능 만족함.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z axis

X axis

Y axis

Octave Band Result (BASE: 바닥, TOP: 제진대 상부)

Octave band Z axis (floor vs isolator top)

Octave band X axis (floor vs isolator top)

Octave band Y axis (floor vs isolator top)

Octave Band Result (BASE: 제진대 상부, TOP: 자이스장비)

Octave band Z axis (isolator vs ZEISS equipment)

Octave band X axis (isolator vs ZEISS equipment)

Octave band Y axis (isolator vs ZEISS equipment)

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일11-13-2017
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Philippines
Manila
ZEISS
SIGMA 300
DVIA-MB1000
MB1000_P53
P53

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