설치 보고서
DVIA-M Series
12-16-2019
Northwest Polytechnical University ZEISS GeminiSEM300 DVIA-MB1000 (P115) trip report — 2019.12.16
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Northwest Polytechnical University
NPU
ZEISS
GeminiSEM300
SEM
China
MB1000 P115
목차
중국 출장 보고서 (MB1000 P115 Set up)
타겟 장비
ZEISS GeminiSEM300
설치장소
1F 126 SEM&TEM Room, Qixiang Building,
Northwest Polytech University
특이사항
Good Performance
END USER
Northwest Polytech University
출장자
최성원
출장일
19.12.12
작성일
19.12.16
설치 결과 요약
| Test Direction | VC-Class | ||
|---|---|---|---|
| Base | Top | ||
| ACTIVE | Z | E | G |
| X | G | G | |
| Y | G | G |
전 방향 성능 양호
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
진동환경 측정 결과
Z axis
X axis
Y axis
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-16-2019
태그
DVIA-M Series
Installation Report
DVIA-MB1000
Northwest Polytechnical University
NPU
ZEISS
GeminiSEM300
SEM
China
MB1000 P115
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