설치 보고서

05-08-2020

YIMO ZEISS Gemini Sigma 300 DVIA-MB1000 설치 보고서 (MB1000 P155, 2020-05-08)

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

ZEISS

Gemini Sigma 300

DVIA-MB1000

DVIA-ML1000

SEM

장비 사진

측정 대상 장비

ZEISS - Gemini Sigma 300

설치 장소

2 FLOOR

비고

Good Performance

END USER

Operator

Choi, Hyoung Mun

설치 일자

20.05.08

보고 일자

20.05.08

출장 일자

17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 2020.05.08 (FRI),

Operator: Daeil System, Manager Choi, Hyoung Mun

Place of measurement : N/A

Equipment Model: ZEISS - Gemini

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Test Condition	VC-Class
	Z	X	Y
Floor
Above Active

Good omnidirectional performance.

MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

Z축

이미지 2 · YIMO ZEISS Gemini Sigma 300 DVIA-MB1000 설치 보고서 (MB1000 P155, 2020-05-08)

X축

이미지 3 · YIMO ZEISS Gemini Sigma 300 DVIA-MB1000 설치 보고서 (MB1000 P155, 2020-05-08)

Y축

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Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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