본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
06-18-2018

Fudan University configuration report — DVIA MC1000 / MC3000 / MB1000 active-mount vibration checks (2018-06-13–14)

DVIA-M Series
Installation Report
Fudan University
Configuration Report
MC1000
MC3000
MB1000
2018

Contents

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 일자

2018.06.13~14

Operator

Daeil System, Manager Sung Won Choi

측정 장소

F1/B1 Floor, Fudan University

장비 모델

MC3000(171025R1): FEI Tecnai G2-F20

MC1000(171114R5): Bruker Ascend400

MC1000(171205R1): Bruker Ascend400 WB

MC1000(171205R2): Bruker Ascend400

MC1000(171205R3): Oxford AS400

MC1000(171205R5): Bruker Ultrashield500

MB1000(171023R1): FEI Nova NanoSEM450

MB1000(171023R3): Hitachi HT7700

MB1000(171023R5): Bruker APEX DUO X-ray

MB1000(171027R2): Bruker D8 venture

측정 조건 및 결과

측정 조건

All equipment is running

Vibration measured at corner of top plate of the isolation platform

측정 결과 요약

Refer to next page

1) MC3000 - 171025R1

모델 및 S/N

MC3000 - 171025R1

대상 장비

FEI Tecnai G2 F-20

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEG
XEG
YEG

Performance of active isolator is good

There is direct disturbance at 30Hz, but it is not severe.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

2) MC1000 - 171025R1

모델 및 S/N

MC3000 - 171114R5

대상 장비

Bruker Ascend400

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEF
XFF
YEG

Performance of active isolator is good

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

3) MC3000 - 171025R1

모델 및 S/N

MC1000 - 171205R1

대상 장비

Bruker Ascend400 WB

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEG
XEG
YEG

Performance of active isolator is good

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

4) MC1000 - 171205R2

모델 및 S/N

MC1000 - 171205R2

대상 장비

Bruker Ascend400

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZDB
XFF
YEE

Performance of active isolator is good

There is direct disturbance at 60Hz.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

5) MC1000 - 171205R3

모델 및 S/N

MC1000 - 171205R3

대상 장비

Oxford AS400

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZCG
XEG
YEG

Performance of active isolator is good

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

6) MC1000 - 171205R5

모델 및 S/N

MC1000 - 171205R5

대상 장비

Bruker Ultrashield

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEG
XEG
YFG

Performance of active isolator is good

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

7) MB3000 - 171023R1

모델 및 S/N

MC3000 - 171023R1

대상 장비

FEI Nova NanoSem450

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEE
XFF
YEF

Performance of active isolator is good

There is direct disturbance over 30Hz. Acoustic noise, cable, hose are

considered to be cause.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

8) MB1000 - 171023R3

모델 및 S/N

MB1000 - 171023R3

대상 장비

Hitachi HT7700

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEE
XEF
YEF

Performance of active isolator is good

There is direct disturbance over 50Hz. Acoustic noise, cable, hose are

considered to be cause.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

9) MB1000 - 171023R5

모델 및 S/N

MB1000 - 171023R5

대상 장비

Bruker APEX DUO X-ray

위치

Fudan university B1

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZED
XED
YFE

Performance of active isolator is good

There is direct disturbance at 25Hz. Some peaks observed in spectrum at

25Hz and its harmonic frequency.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

10) MC3000 - 171023R5

모델 및 S/N

MB1000 - 171023R5

대상 장비

Bruker D8 Venture

위치

Fudan university 1F

사진

성능

시험 방향VC-ClassBaseTopActive
ZEA
XEB
YEB

Active isolator seems to work well, vibration level of top is not good.

Many peaks observed in vibration spectrum. The equipment appears to be

generating vibration itself.

전달률 Z

전달률 X

전달률 Y

1/3 옥타브 대역 그래프 Z

1/3 옥타브 대역 그래프 X

1/3 옥타브 대역 그래프 Y

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-18-2018
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Fudan University
Configuration Report
MC1000
MC3000
MB1000
2018

관련 케이스 스터디

YIMO Pudan University site — MC3000 / MC1000 / MB1000 vibration setup report (2018-01-30)
DVIA-M Series

YIMO Pudan University site — MC3000 / MC1000 / MB1000 vibration setup report (2018-01-30)

01-30-2018자세히
BRUKER 400WB NMR MC1000/P73 — DVIA-M Series vibration report (2018-04-10)
DVIA-M Series

BRUKER 400WB NMR MC1000/P73 — DVIA-M Series vibration report (2018-04-10)

04-10-2018자세히
Zhejiang University HITACHI H-7650 TEM DVIA-MB1000 (MB1000 P70) Installation Report — 2018-09-17
DVIA-M Series

Zhejiang University HITACHI H-7650 TEM DVIA-MB1000 (MB1000 P70) Installation Report — 2018-09-17

09-17-2018자세히