YIMO Pudan University site — MC3000 / MC1000 / MB1000 vibration setup report (2018-01-30)
Contents
1. 개요
● YIMO Tech 입찰 10set 중 NMR장비용 MC1000 포함 총 5set의
Active제진대 셋업 및 진동 측정
MC3000(P6) - FEI TECNAI G2-F20
MC1000(P65) - Bruker Ascend400 (NMR)
MB1000(P57) - Hitachi HT7700
MB1000(P59) - Bruker APEX DUO x-ray
MB1000(P61) - FEI Nova NanoSEM450
2. 측정 일시 및 장소
● 2018.01.25~2018.01.26
● 중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
3. 셋업 및 측정 담당자
● 대일시스템 김두현 (doohyun.kim@daeilsys.com)
● 대일시스템 임종욱 (lju@daeilsys.com)
4. 측정 결과
* 다음 페이지 참조.
1) MC3000(P6) - FEI TECNAI G2-F20
모델 및 Serial
MC3000(P6) 171025R1
타겟 장비
FEI TECNAI G2-F20
설치 장소
중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
타겟 장비 및 설치 사진
성능 요약 (VC-Class)
| Test Direction | VC-Class Base (바닥진동) | VC-Class Top (제진대 상부) |
|---|---|---|
| Z-axis | D | F |
| X-axis | E | F |
| Y-axis | F | G |
* 제진 성능 양호
* 이미지 테스트 진행 - 제진 성능 양호 판정
2) MC1000(P65) - Bruker Ascend400 (NMR)
모델 및 Serial
MC1000(P65) 171114R5
타겟 장비
Bruker Ascend400(NMR)
설치 장소
중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
타겟 장비 및 설치 사진
성능 요약 (VC-Class)
| Test Direction | VC-Class Base (바닥진동) | VC-Class Top (제진대 상부) |
|---|---|---|
| Z-axis | E | F |
| X-axis | F | F |
| Y-axis | E | G |
* 제진 성능 양호
* 타겟 장비의 경우, 제품만 올라가 있고 구동 및 셋업이 안되어 있는 상태로, 타겟 장비 셋업 후 재 측정 필요
UI 프로그램 성능측정 결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
진동환경 측정결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
3) MB1000(P57) - Hitachi HT7700
모델 및 Serial
MB1000(P57) 171023R3
타겟 장비
Hitachi HT7700
설치 장소
중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
타겟 장비 및 설치 사진
성능 요약 (VC-Class)
| Test Direction | VC-Class Base (바닥진동) | VC-Class Top (제진대 상부) |
|---|---|---|
| Z-axis | D | D |
| X-axis | F | D |
| Y-axis | E | F |
* 전반적인 제진 성능은 우수하나,
장비 또는 장비와 연결된 케이블을 통해 50hz 및 80hz 대역에서
상부에 직접적인 높은 수준의 진동을 보임
* 저주파 대역 제진 성능 양호
UI 프로그램 성능측정 결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
진동환경 측정결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
4) MB1000(P59) - Bruker APEX DUO X-ray
모델 및 Serial
MB1000(P59) 171023R5
타겟 장비
Bruker APEX DUO X-ray
설치 장소
중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
타겟 장비 및 설치 사진
성능 요약 (VC-Class)
| Test Direction | VC-Class Base (바닥진동) | VC-Class Top (제진대 상부) |
|---|---|---|
| Z-axis | E | D |
| X-axis | E | E |
| Y-axis | E | D |
* Active Bandwidth의 제진 성능은 우수하나,
장비 혹은 장비와 연결된 케이블을 통해
상부에 직접적인 25hz Harmonic 형태의 진동이 발생함.
* 저주파 대역 제진 성능 양호
UI 프로그램 성능측정 결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
진동환경 측정결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
5) MB1000(P61) - FEI Nova NanoSEM450
모델 및 Serial
MB1000(P61) 171023R1
타겟 장비
FEI Nova NanoSEM450
설치 장소
중국 상해 Pudan 대학교 지하 1층 분석실
타겟 장비 및 설치 사진
성능 요약 (VC-Class)
| Test Direction | VC-Class Base (바닥진동) | VC-Class Top (제진대 상부) |
|---|---|---|
| Z-axis | E | E |
| X-axis | E | G |
| Y-axis | E | F |
* 전반적인 제진 성능은 우수하나,
장비 또는 장비와 연결된 케이블을 통해 50hz 대역에서
상부에 직접적인 높은 수준의 진동을 보임
* 저주파 대역 제진 성능 양호
UI 프로그램 성능측정 결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
진동환경 측정결과
Z-axis
X-axis
Y-axis
Reference
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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Fudan University Bruker Ascend400 (NMR) DVIA-MC1000 (MC1000 P65 · 171114R5) — YIMO setup report — 2018-01
Fudan University configuration report — DVIA MC1000 / MC3000 / MB1000 active-mount vibration checks (2018-06-13–14)
