설치 보고서
DVIA-M Series
04-10-2018
BRUKER 400WB NMR MC1000/P73 — DVIA-M Series vibration report (2018-04-10)
DVIA-M Series
MC1000
MB1000
BRUKER
NMR
Installation Report
Pudan Univ
P73
2018
Contents
대상 장비
BRUKER 400WB NMR
설치 장소
Pudan UNIV, Basement 1FLOOR
특이사항
Good Performance
END USER
Pudan Univ
출장 일자
18.03.30
출장자
Choi, HyoungMun
작성일
18.04.10
개요
After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.
측정 일자
2018.03.30 (Friday), Rater: Daeil System, Manager Choi , Hyoung Moon
측정 장소
Pudan UNIV, Basement 1FLOOR
Equipment Model
BRUKER 400WB NMR
장비 사진
측정 조건 및 결과
측정 결과 요약
| 시험 조건 | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| 바닥 | E | E | F |
| 활성 상부 | G | G | G |
Good omnidirectional performance and attached VC-Class graph.
MB1000 internal program performance measurement result
VC-Class graph — Z axis
VC-Class graph — X axis
VC-Class graph — Y axis
Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)
Octave band — Z axis
Octave band — X axis
Octave band — Y axis
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-10-2018
태그
DVIA-M Series
MC1000
MB1000
BRUKER
NMR
Installation Report
Pudan Univ
P73
2018
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