설치 보고서
DVIA-M Series
04-10-2018
Fudan University BRUKER ULTRA SHIELD 500 NMR MC1000/P76 — DVIA-M Series performance report (2018-04-10)
DVIA-M Series
MC1000
BRUKER
NMR
Performance Report
Fudan University
P76
2018
Contents
대상 장비
BRUKER ULTRA SHIELD 500 NMR
설치 장소
Pudan UNIV, Basement 1FLOOR
특이사항
Good Performance
END USER
Pudan Univ
출장 일자
18.03.30
출장자
Choi, HyoungMun
작성일
18.04.10
개요
After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.
측정 일자
2018.03.30 (Friday), Rater: Daeil System, Manager Choi , Hyoung Moon
측정 장소
Pudan UNIV, Basement 1FLOOR
Equipment Model
BRUKER ULTRA SHIELD 500 NMR
장비 사진
측정 조건 및 결과
측정 결과 요약
| 시험 조건 | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| Floor | D | E | E |
| Above Active | G | G | G |
Good omnidirectional performance and attached VC-Class graph.
MB1000 internal program performance measurement result
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 - Z axis
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 - X axis
MB1000 내부 프로그램 성능 측정 결과 - Y axis
Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)
옥타브 밴드 결과 (BASE: Floor, TOP: Above Active) - Z axis
옥타브 밴드 결과 (BASE: Floor, TOP: Above Active) - X axis
옥타브 밴드 결과 (BASE: Floor, TOP: Above Active) - Y axis
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-10-2018
태그
DVIA-M Series
MC1000
BRUKER
NMR
Performance Report
Fudan University
P76
2018
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