설치 보고서

04-10-2018

푸단대학교 MC1000(P76) Bruker UltraShield 500 NMR 성능 측정 보고서 — 2018-04-10

DVIA-M Series

Performance report

MC1000

P76

Bruker

NMR

Fudan University

DAEIL SYSTEMS

Fudan University (MC1000_P76 Set up)

Target equipment	BRUKER ULTRA SHIELD 500 NMR
Place of installation	Fudan UNIV, Basement 1FLOOR
Uniqueness	Good Performance
END USER	Fudan University
Date of business trip : 18.03.30	Business traveler: Choi, HyoungMun
Date of business trip : 18.03.30
Date Created : 18.04.10

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

측정 정보

Measurement date: 2018.03.30 (Friday), Rater: Daeil System, Manager Choi , Hyoung Moon

Place of measurement : Fudan UNIV, Basement 1FLOOR

Equipment Model: BRUKER ULTRA SHIELD 500 NMR

측정 조건 및 결과

Summary of measurement results

Test Condition	Z	X	Y
Floor	D	E	E
Above Active	G	G	G

Good omnidirectional performance and attached VC-Class graph.

VC-Class graph

이미지 1 · 푸단대학교 MC1000(P76) Bruker UltraShield 500 NMR 성능 측정 보고서 — 2018-04-10

MB1000 internal program performance measurement result

Z axis - internal program

이미지 2 · 푸단대학교 MC1000(P76) Bruker UltraShield 500 NMR 성능 측정 보고서 — 2018-04-10

X axis - internal program

이미지 3 · 푸단대학교 MC1000(P76) Bruker UltraShield 500 NMR 성능 측정 보고서 — 2018-04-10

Y axis - internal program

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Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: Above Active)

Z axis - octave band result

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X axis - octave band result

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Y axis - octave band result

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Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	사람이 분명히 진동을 느낄 수 있는 수준. 작업장 등 비민감 구역에 적합합니다.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	사람이 진동을 느낄 수 있는 수준. 사무실 등 비민감 구역에 적합합니다.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	사람이 진동을 거의 느끼지 못하는 수준. 대부분의 수면 공간 등에 적합합니다.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	사람이 진동을 느끼지 못하는 수준. 수술실, 최대 약 100배 광학현미경 등에 적합합니다.	100 (4,000)	25
VC-A	최대 약 400배 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스 등에 적합합니다.	50 (2,000)	8
VC-B	선폭 약 3µm 이하 리소그래피·검사 장비 등에 적합합니다.	25 (1,000)	3
VC-C	최대 약 1000배 광학현미경, 선폭 약 1µm 리소그래피 장비 등에 적합합니다.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	SEM/TEM 등 고사양 전자현미경을 포함한 요구 높은 장비에 적합합니다.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 장비에 해당합니다.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않습니다.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3옥타브 밴드, VC-C–G는 1–80 Hz 1/3옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. Detail size는 마이크로전자 소자의 선폭이나 의료·바이오 분야에서는 입자 크기 등을 가리킵니다.

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