HITACHI SU8230 SEM DVIA-MB1000 (MB1000_P52) Vibration Survey — Tier-1 Semiconductor — 2017.09.12

MB1000_P52 진동환경 측정 결과

(대전, 티어-1 반도체)

타겟 장비 : HITACHI SEM _ SU8230

2017.09.11 (월)

2017.09.12 (화)

최형문 과장, 김두현 대리

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2017. 09. 11(월), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

대전, 티어-1 반도체

HITACHI SEM SU8230

측정 조건: 제진대의 상판과 연구동 건물 바닥을 측정.

제진대가 설치된 바닥은 각각 Z축 F Class , X축 G Class, Y축 G Class로 측정됨.

제진대의 상부는 각각 Z축 G Class, X축 G Class, Y축 G Class로 측정됨.

제진대를 설치 한 후 이미지 측정 결과가 양호함.

내장 프로그램을 사용하여 성능을 측정한 결과 10Hz기준 전 방향 -30dB 수준으로 양호함.

VC-Class그래프와 내장 프로그램의 전달률을 첨부하였음.