설치 보고서

DVIA-M Series

01-07-2026

Samsung Electro-Mechanics Busan — TESCAN CLARA FE-SEM DVIA-MB1000 (161213R2) installation report — 2026-01-07

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-MB1000

161213R2

TESCAN

FE-SEM

CLARA

Busan

Samsung Electro-Mechanics

개요

삼성전기 부산사업장 A6동 3층 수입검사실로 이전 설치된 DVIA-MB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 161213R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

점검 날짜

2026년 01월 06일

보고서 작성일

26.01.07

설치 장소

삼성전기 부산사업장 A6동 3층 수입검사실

End User

삼성전기

장비

Manufacturer: TESCAN

Equipment: FE-SEM

Model: CLARA

장비 스펙

<10 um/s below 30 Hz, <20 um/s above 30 Hz

장비 상태

장비 설치 및 Turned off

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소	상태	방향		측정값		결과
측정 장소	상태	Floor	DVIA-MB1000	Floor	DVIA-MB1000
삼성전기 부산사업장 A6동 3층 수입검사실 1. Floor 2. DVIA-MB1000	Turned off	Vertical	VC-A @ 8 Hz	VC-E @ 8 Hz	✗ FAIL	✓ PASS
	Left to Right	VC-C @ 4 Hz	VC-G @ 4 Hz	✓ PASS	✓ PASS
	Front to Back	VC-D @ 3.15 Hz	VC-G @ 3.15 Hz	✓ PASS	✓ PASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일01-07-2026

태그

DVIA-M Series

Installation Report

DVIA-MB1000

161213R2

TESCAN

FE-SEM

CLARA

Busan

Samsung Electro-Mechanics

Samsung Electro-Mechanics Busan — TESCAN CLARA FE-SEM DVIA-MB1000 (161213R2) installation report — 2026-01-07

목차

개요

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

점검 날짜

보고서 작성일

설치 장소

End User

장비

장비 스펙

장비 상태

진동 측정 장비

진동 측정 Setup

결론

측정 데이터

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

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