도입사례

DVIA-STONE-300 시리얼 240413R3-1, 제목 STONE-300_ 240413R3-1 Set up 양식(세팅 24.11.05·보고 24.11.06). 대상 장비는 Thermo Fisher Spectra 300 S/TEM입니다. 개요·측정 일자·장비 모델 줄은 원문 그대로 반영했으며, STONE-300 내부 프로그램 절 아래 Vertical·Left to Right·Front to Back 스크린샷만 게시합니다. 제목 블록 직후 장식용 이미지는 공개에서 생략했습니다. 원문에 진동 사양 단독 절·측정 요약 표·Reference 절은 없습니다.

DVIA-ML1000 설치 보고서 — ZEISS FE-SEM GeminiSEM 560(시리얼 240925R4), Tier-1 Fab DSR 연구타워. 개요·Bus 통과 시 측정 조건 등 원문 요지. 장비 상태 장비 설치 및 IDLE. 진동 사양은 양식 캡처, Setup 텍스트, Tuning Request N/A, Active·Passive·Turned off 결론, 세 가지 측정 요약 표, Active·Passive는 축별 VC·Autospectrum·Trans, Turned off는 보고서에 제시된 VC·Autospectrum만. 참고 일반 진동 기준은 표로 제공(원문 참고 그림 생략).

천안 1공장 라인 등 1차 반도체 고객 현장 DVIA-U850(파일명 기준 시리얼 230724R1) 진동 점검·측정(2024-10-25) 및 보고서 작성일(2024-10-30) 정리입니다. Fan/케이블 조치 후 VC 및 Settling 결과, 전달률, 수원 조건 비교 포함. 표지 헤더 장식 그림 미게시이며 참고 표준 VC 곡선은 업로드 대신 표로 제공합니다.

한국나노기술원 2F 나노 리소/패턴 지원라인 JEOL JBX-8100FS 전자빔 리소그래피용 DVIA-P2200(시리얼 240705R1) 설치 보고서. 2024년 10월 29일 튜닝·진동측정, 대일시스템 이채원. 게시 그림: 장비 사진, 장비 진동 스펙, 축별 VC·Narrowband·Transmissibility(Data Physics), Control Unit VC·Narrowband. 참고자료는 마크다운 표만 제공합니다.

Tier-1 Semiconductor 천안사업장 C5동 ZEISS FE-SEM GeminiSEM 460 DVIA-ML1000(시리얼 240709R2) 설치 보고서. 2024년 10월 24일 튜닝·진동측정, 10월 29일 보고서 작성. 장비 상태: 장비 설치 및 IDLE. Brüel & Kjær LAN-XI DAQ·PCB 393B05 가속도계. 제조사 장비 진동 스펙 임베드, 축별 VC·Autospectrum·Transmissibility, 현장 장비 사진. Reference는 표준 일반 진동 기준 마크다운 표만 제공.

DVIA-M1000 시리얼 240724R3 — Suzhou Institute of Nanotechnology 대상 장비 Omicron STM, 설치·측정지 Suzhou 양식. 개요·측정 정보는 공개 양식과 동일하며, M1000 내부 프로그램 성능 결과는 Vertical·Left to Right·Front to Back 라벨의 UI 플롯을 게시함. 표지·헤더용 장식 그래픽은 게시 제외.