도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례
Tier-1 Semiconductor Zeiss Gemini 2 FE-SEM DVIA-MB1000(231128R4) 설치 보고서
DVIA-MB1000 설치 보고서(시리얼 231128R4), Tier-1 Semiconductor 용인캠퍼스 — Zeiss FE-SEM Gemini 2. 축별 VC·Narrow Band·전달률 및 장비 사진; Reference는 일반 진동 기준 마크다운 표.
SERON Technology 자체 개발 FE-SEM DVIA-MB1000(170619R2) 설치 보고서 — 2025.05.26
월드비전 506호에 설치된 DVIA-MB1000(시리얼 170619R2)에 대해 SERON Technology 자체 개발 FE-SEM을 제진대 위에 안착한 뒤 Operation 상태로 튜닝·진동 측정을 수행한 보고서입니다. 측정 중 장비 뒤쪽 로터리펌프가 가동 중이었다는 원문 기재를 반영합니다. 축별 VC·Narrow Band·전달률 플롯과 현장 설치 사진을 게시하고, 참고는 일반 진동 기준 마크다운 표만 둡니다.
POSTECH Raith Voyager 설치 보고서
포항공과대학교 DVIA-ML3000(시리얼 250103R2-1) 설치 보고서 — Raith Voyager 전자빔 리소그래피. 장비 스펙 도면, 축별 VC·Autospectrum·Transmissibility, 장비 사진, Reference 일반 진동 기준은 마크다운 표로 제공.
토모큐브 Holotomography DVIA-MO1000(240507R4-1) 설치 보고서
토모큐브 DEMO실 DVIA-MO1000(시리얼 240507R4-1) 설치 보고서. 장비 Turned off 상태에서 튜닝 및 진동측정 진행, 결과 요약 표와 축별 플롯, 장비 사진, Generic Vibration Criteria 참고 표를 포함함.
토모큐브 Holotomography DVIA-MO1000(240507R4-2) 설치 보고서
토모큐브 클린룸 DVIA-MO1000(시리얼 240507R4-2) 설치 보고서. 장비 Turned off 상태 측정, VC-G 사양, 결과 요약 표, 축별 플롯 및 장비 사진을 공개함.
ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(250421R7) 설치 보고서
ZEISS SEM EVO 10 DVIA-M1000(시리얼 250421R7) 설치 보고서. 개요에는 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동함이 기재됨. 양식상 고객·설치 위치 등은 N/A. 장비 상태는 The equipment is installed/Turned off, 튜닝 요청 N/A. 수직·좌우·전후 전달률(UI 프로그램) 및 현장 장비 사진.