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설치 보고서
DVIA-ML Series
06-19-2025

Institute of Geodesy and Geophysics Thermo Fisher TEM Spectra 300 DVIA-ML3000 Installation Report

DVIA-ML Series
Installation Report
Thermo Fisher
TEM
Spectra 300
DVIA-ML3000

목차

개요

DVIA-M3000 능동 진동 제어 플랫폼은 적절히 설치되었으며 의도대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML3000

시리얼 넘버: 240423R5

엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 6월 19일

보고서 작성일

2025년 6월 24일

튜닝 횟수

2nd (1st :24.07.22)

위치

Beijing

최종 사용자

Institute of Geodesy and Geophysics

장비

Manufacturer: ThermoFisher

Equipment: TEM

Model: Sprectra 300

장비 상태

The equipment is installed/IDLE

튜닝 요청

N/A

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미함.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일06-19-2025
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
Thermo Fisher
TEM
Spectra 300
DVIA-ML3000

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