설치 보고서
DVIA-ML Series
06-25-2025
Vertilite Raith E-beam Lithography DVIA-M3000 (241213R1) Installation Report
DVIA-ML Series
Installation Report
DVIA-M3000
Raith
E-beam lithography
Vertilite
목차
개요
DVIA-M3000 진동 방지 시스템이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-M3000
시리얼 넘버: 241213R1
엔지니어
Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2025년 6월 25일
튜닝 시도 횟수
1st
위치
Changzhou, China
최종 사용자
Vertilite Co., Ltd.
장비 상태
제조사: Raith
장비: E-beam Lithography
모델: -
The equipment is uninstalled
튜닝 요청
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
장비
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일06-25-2025
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
DVIA-M3000
Raith
E-beam lithography
Vertilite
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