설치 보고서
DVIA-ML Series
10-13-2025
Tier-1 Semiconductor Raith Voyager Installation Report
DVIA-ML Series
Installation Report
Raith
Voyager
Tier-1 Semiconductor
목차
고객
Tier-1 Semiconductor
담당 엔지니어
Chaewon Lee
튜닝 일자
2025-10-07
보고서 작성일
25.10.13
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250728R3
설치 장소
Nest 2F Laboratory
장비
제조사: Raith
장비: Electron Beam Lithography system
모델: Voyager
장비 상태
The equipment was installed on the DVIA-ML3000 platform. Turned off.
튜닝 시도 횟수
1st
측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
- Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
- PCB Accelerometer
- Model: 393B05
측정 설정
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
진동 사양
결론
DVIA-ML3000 설치 후 모든 축에서 바닥 진동이 진동 사양 이내로 감소하였습니다.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 사양 | 축 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML3000 | 바닥 | DVIA-ML3000 | ||||
| Nest 2F Laboratory 1. 바닥 2. DVIA-ML3000 | Equipment is installed and is Turned off | N/A | 수직 | VC-C @ 50 Hz | VC-F @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-B @ 25 Hz | VC-G @ 85 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-E @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터 및 이미지
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
장비 사진
Reference
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일10-13-2025
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
Raith
Voyager
Tier-1 Semiconductor
