POSTECH Raith Voyager Installation Report
목차
개요
포항공과대학교 나노융합기술원에 설치된 DVIA-ML3000의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대 주변에 많은 바람이 불고 있었습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
장비가 IDLE상태이긴 하나 일부 작동 중이었습니다. 이는 튜닝 및 진동 측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250103R2-1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜: 25.05.23
보고서 작성일: 25.05.26
튜닝 날짜
2025년 05월 23일
End User
포항공과대학교
설치 장소
포항공과대학교 나노융합기술원 216호
고객사 장비
Manufacturer: Raith
Equipment: Electron Beam Lithography system
Model: Voyager
장비 스펙
장비상태
장비 설치/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 사양 | 축 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML3000 | 바닥 | DVIA-ML3000 | ||||
| 포항공과대학교 나노융합기술원 1. Floor 2. DVIA-ML3000 | 장비 설치/IDLE | 1.6-16 Hz: 0.8 이하 16 Hz 이상: 1.0 이하 | Vertical | VC-C @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-B @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
장비사진
참고자료
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.
