POSTECH Raith Voyager Installation Report
목차
개요
포항공과대학교 나노융합기술원에 설치된 DVIA-ML3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
작업 당시 주변에서 공사를 진행하고 있었습니다. 이는 진동측정 결과에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250103R2-2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 날짜
2025년 02월 28일
보고서 작성일
2025년 03월 04일
End User
포항공과대학교
설치 장소
포항공과대학교 나노융합기술원 216호
장비 상태
장비 설치 및 Turned off
고객사 장비
Manufacturer: Raith
Equipment: Electron Beam Lithography system
Model: Voyager
진동 측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
장비 진동 스펙
결론
Vertical: 100 Hz에서 Spec Out이 발생했습니다. 측정 당시 주변에서 공사가 진행 중이었으며, 이로 인해 발생한 진동이 장비에 연결된 케이블을 따라 전달된 것으로 추정됩니다.
Left to Right, Front to Back: 모든 대역대에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙(µm/s) | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML3000 | Floor | DVIA-ML3000 | ||||
| 포항공과대학교 나노융합기술원 216호 1. Floor 2. DVIA-ML3000 | 장비 설치/Turned off | 1.6-16 Hz: 0.8 이하 16 Hz 이상: 1.0 이하 | Vertical | VC-D @ 100 Hz | VC-E @ 100 Hz | ✗ FAIL | ✗ FAIL |
| Left to Right | VC-C @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-C @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터&이미지
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 Transmissibility
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 Transmissibility
전후 VC Curves
전후 Autospecturm
전후 Transmissibility
Reference
Generic Vibration Criteria
참고:
1. VC-A부터 VC-B 까지는 8 - 80 Hz, VC-C 부터 VC-G까지는 1 - 80 Hz 옥타브 밴드로 측정된 진폭의 값을 나타냄.
2. 정밀도는 마이크로전자 공정에서는 라인 폭을, 의료 및 제약 연구에서는 입자(또는 세포) 크기를 의미함.
3. 정밀도는 프로브 기술, 원자힘현미경(AFM), 나노기술과 관련된 이미징에는 해당되지 않음
