설치 보고서
DVIA-ML Series
10-07-2025
National Enterprise for nanoScience and nonoTechnology DVIA-ML3000 Installation Report
DVIA-ML Series
Installation Report
Raith
Voyager
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: Raith Voyager
시리얼 넘버: 250728R3
엔지니어
대일시스템 이채원
튜닝 날짜
2025년 10월 7일
설치 위치
Nest 2F Laboratory
장비
제조사: Raith
장비: Electron Beam Lithography system
모델: Voyager
장비 상태
장비 was installed on the DVIA-ML3000 platform. Turned off.
측정 장비
Data Physics DAQ
하드웨어: QUATTRO, 시리얼 번호: 22436
소프트웨어: SignalCalc ACE
가속도계: PCB 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40 Hz
진동 기준
결론
After the installation of the DVIA-ML3000, floor vibration was reduced to within the vibration specification in all axes.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 측정 데이터 | 결과 |
|---|---|---|---|---|
| Nest 2F Lab 1. Floor 2. DVIA-ML3000 | Equipment is installed and Turned off | Vertical | VC-C @50 Hz | VC-F @50 Hz |
| Left to Right | VC-C @50 Hz | VC-F @50 Hz | ||
| Front to Back | VC-C @50 Hz | VC-F @50 Hz |
데이터 및 이미지
수직 VC Curves
수직 Auto Spectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Auto Spectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Auto Spectrum
전후 전달률
장비 사진
참조
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일10-07-2025
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
Raith
Voyager
