Jeonbuk National University Raith Voyager DVIA-ML3000 Installation Report
목차
개요
전북대학교 전주 캠퍼스 반도체 물리 연구소에 설치된 DVIA-ML3000에 대해 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
장비가 유휴(idle) 상태에서 튜닝 및 진동 측정이 수행되었습니다.
수집된 데이터는 VC Curve로 분석·제시되었으며, 진동 수준에 대한 참조 정보가 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250313R2
담당 엔지니어
DAEIL SYSTEMS Chaewon Lee
튜닝 일자
2025년 4월 8일
최종 사용자
전북대학교
설치 장소
전북대학교 전주 캠퍼스 반도체 물리 연구소 클린룸(1층)
장비 상태
Turned on/IDLE
장비
Manufacturer: Raith
Equipment: Electron Beam Lithography system
Model: Voyager
측정 장비
9.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
9.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
진동 사양
결론
The equipment complies with the specifications across all axes
진동 결과 요약
| 측정 지점 | 상태 | 진동 사양 (µm/s) | 축 | 측정 데이터 | 결과 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML3000 | 바닥 | DVIA-ML3000 | |||||
| 전북대학교 전주 캠퍼스 반도체 물리 연구소 클린룸(1층) 1. 바닥 2. DVIA-ML3000 | Turned on/IDLE | Between 1.6-16 Hz: less than 0.8um/s Above 16 Hz : less than 1.0um/s | 수직 | VC-F @ 31.5 Hz | VC-G @ 31.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |
| 좌우 | VC-G @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||||
| 전후 | VC-G @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||||
데이터 및 이미지
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Autospecturm
전후 전달률
장비 사진
참조
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.
