Biel Crystal Manufactory Limited Raith EBPG5200 Plus E-Beam Lithography DVIA-ML3000S (260406R2-1) Installation Report
Contents
개요
Following the installation of DVIA-ML3000S at Huiyang, tuning and vibration measurement were performed.
Vibration measurement was conducted with the equipment in the IDLE state.
Data is represented in VC Curve format and reference material on the vibration level is provided.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000S
시리얼 넘버: 260406R2-1
담당 엔지니어
Gyumin Park · DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2026.07.15
보고서 작성일
2026.07.20
Customer
YIMO TECH
End User
Biel Crystal Manufactory Limited
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Huiyang
장비
제조사: Raith
장비: E-Beam Lithography
모델: EBPG5200 Plus
진동 사양
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 8 |
| 5 | 8 |
| 6.3 | 6.94 |
| 8 | 6 |
| 10 | 7.35 |
| 12.5 | 9.01 |
| 16 | 11.28 |
| 20 | 13.82 |
| 25 | 16.94 |
| 31.5 | 19.32 |
| 40 | 16.32 |
| 50 | 13.94 |
| 63 | 11.84 |
| 80 | 10 |
| 100 | 12.5 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 8 |
| 5 | 8 |
| 6.3 | 6.94 |
| 8 | 6 |
| 10 | 7.35 |
| 12.5 | 9.01 |
| 16 | 11.28 |
| 20 | 13.82 |
| 25 | 16.94 |
| 31.5 | 19.32 |
| 40 | 16.32 |
| 50 | 13.94 |
| 63 | 11.84 |
| 80 | 10 |
| 100 | 12.5 |
장비 상태
IDLE
Tuning Request
측정 요약
Case 1
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML3000S | |||
| 1.Floor 2.DVIA-ML3000S | See Section 9 | Vertical | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Front to Back Autospectrum
Reference
아래 표는 IEST-RP-CC012.2를 기준으로 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A·VC-B는 8-80 Hz, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭을, 의료·제약 연구에서는 입자(세포) 크기를 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에 해당합니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비와 공정의 응용 및 진동 요구사항에 대해 잘 아는 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
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케이스 스터디 정보
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