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설치 보고서
DVIA-M Series
09-13-2021

YIMO STM OEM DVIA-MO1000 (P247) Second Setup Installation Report — September 13, 2021

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
STM
DVIA-MO1000
P247
MO1000 internal program

(MO1000 P247 2ND SETUP)

설치 장비(Target equipment)STM OEM
설치 위치N/A
비고(Remark)Good Performance
END USERN/A

Operator: Choi, HyoungMun

Date of setup : 21.09.10

Date of reporting : 21.09.13 | Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 21.09.10 (FRI)

Operator: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun

Place of measurement : N/A

Equipment Model: STM OEM

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Good omnidirectional performance.

2 Hz5 Hz10 Hz
Z-28 dB-27 dB-29 dB
X-30 dB-20 dB-28 dB
Y-30 dB-30 dB-28 dB

MO1000 internal program performance measurement result

Z axis

X axis

Y axis

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-13-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
STM
DVIA-MO1000
P247
MO1000 internal program