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설치 보고서
DVIA-M Series
05-16-2026

Fudan University STM DVIA-MO1000 (221114R2) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Fudan University
STM
Shanghai
DVIA-MO1000
221114R2

Contents

개요

DVIA-MO1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

Measurement date: 2023.02.10 (Friday)

Operator: DAEIL SYSTEMS, Youngha Lee, Hosang Yu

Place of measurement: SHANGHAI

Equipment Model: STM

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MO1000

시리얼 넘버: 221114R2

담당 엔지니어

Operator: Lee, Young haDate of setup: 23.02.10Date of reporting: 23.02.

설치 일자

23.02.10

보고서 작성일

Date of reporting: 23.02.

출장 일자

17.12.27~17.12.29

비고

Good Performance

End User

Fudan University

튜닝 횟수

N/A

설치 위치

SHANGHAI

장비

제조사: N/A

장비: STM

모델: N/A

장비 상태

N/A

MO1000 internal program 성능 측정 결과

Z axis

X axis

Y axis

장비 사진

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-16-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Fudan University
STM
Shanghai
DVIA-MO1000
221114R2

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