설치 보고서

08-26-2021

YIMO STM OEM DVIA-MO1000(P247) 설치 보고서 — 2021

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

STM

DVIA-MO1000

P247

MO1000 internal program

(MO1000 P247 Set-up)

설치 장비(Target equipment)	STM OEM
설치 위치	N/A
비고(Remark)	Good Performance
END USER	N/A

Operator: Choi, HyoungMun

Date of setup : 21.08.25

Date of reporting : 21.08.18 | Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.

Measurement date: 21.08.25 (WED)

Operator: Daeil System, Research engineer Choi, HyoungMun

Place of measurement : N/A

Equipment Model: STM OEM

측정 조건 및 결과

측정 결과 요약

Good omnidirectional performance.

Test Condition	Transmissibility
Test Condition	2 Hz	5 Hz
Z	-28 dB	-38 dB
X	-25 dB	-32 dB
Y	-35 dB	-30 dB

MO1000 internal program performance measurement result

Z axis

이미지 1 · YIMO STM OEM DVIA-MO1000(P247) 설치 보고서 — 2021

X axis

이미지 2 · YIMO STM OEM DVIA-MO1000(P247) 설치 보고서 — 2021

Y axis

이미지 3 · YIMO STM OEM DVIA-MO1000(P247) 설치 보고서 — 2021

Reference

Generic Vibration Criteria

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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