설치 보고서
DVIA-M Series
03-31-2021
Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (201201R2 P18) Installation Worksheet — 2021.03.31
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
201201R2
B&K PULSE
Contents
타겟 장비
zeiss xradia 620 versa
설치 장소
1차 반도체 고객사(안산) 1층 일반 실험실
비고
Good Performance
END USER
1차 반도체 고객사
운영자
Kim, DooHyun
세팅 일자
21.03.31
보고 일자
21.04.01
출장 일자
17.12.27~17.12.29
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 201201R2 (P18)
개요
After Active mounting, measure the vibration environment to check that there is no problem in using the equipment.
측정 일자
21.03.31 (WED)
Daeil System, Research engineer Kim, DooHyun
측정 장소
1차 반도체 고객사(안산) 1층 일반 실험실
Equipment Model
zeiss xradia 620 versa
측정 조건 및 결과
DAQ System : B&K PULSE 14 & LAN-XI Type 3056
Accelerometer : PCB PIEZOTRONICS 393B05
Frequency Range : 0.7 ~ 200Hz
측정 조건 및 결과 - 그림 1
측정 조건 및 결과 - 그림 2
측정 조건 및 결과 - 그림 3
측정 결과 Summary
| Test Condition | VC-Class Z | VC-Class X | VC-Class Y |
|---|---|---|---|
| Floor | D | F | E |
| Above Active | D | D | D |
타겟 장비에서 52.5Hz 피크성 노이즈가 발생하고 있음(EX. DC-Fan진동 등)
타겟 장비 진동 부분을 고려하면 전반적인 상태 양호.
타겟 장비의 진동 요구치가 VC-D로 3축 모두 만족. .
측정 Summary - 시각화 1
측정 Summary - 시각화 2
MB1000 internal program performance measurement result
Internal program - Z축
Internal program - X축
Internal program - Y축
진동 기준 곡선
기준 곡선 - Z축
기준 곡선 - X축
기준 곡선 - Y축
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-31-2021
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
201201R2
B&K PULSE
관련 케이스 스터디
DVIA-M Series
LG InnoTek ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (201201R2) Installation Report — 2026.02.09
02-09-2026자세히
DVIA-M Series
Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (231005R2) Installation Report — 2023.12.27
12-27-2023자세히
DVIA-M Series
Tier-1 Semiconductor ZEISS Versa 620 X-ray Microscope DVIA-MB3000 (170515R4) Installation Report — 2025.07.08
07-08-2025자세히