설치 보고서
DVIA-M Series
12-27-2023
Tier-1 Semiconductor ZEISS Xradia 620 Versa DVIA-MB3000 (231005R2) Installation Report — 2023.12.27
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
231005R2
Contents
개요
공압식 액티브 제진대 DVIA-MB3000가 설치 후 정상 성능으로 작동 합니다.
08:50~13:30 지속적으로 진동 측정하고 가장 높은 진동 레벨 기준으로 작성하였음.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB3000
시리얼 넘버: 231005R2
엔지니어
Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
December 27, 2023
보고서 작성일
23.12.27
출장 일정
17.12.27~17.12.29
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 화성사업장 DSR A타워 제품기술분석실 B1층
고객사 장비
ZEISS Xradia 620 Versa X-ray Microscope
진동 결과 요약
| 측정 위치 | Z-axis (Vertical) 1–10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5–80 Hz | X-axis (Left to Right) 1–10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5–80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1–10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor — Operating Theatre | A | B | C | C | D | |
| Active | F | F | G | F | F | F |
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Floor VC curves
Z-axis (Vertical) Active VC curves
X-axis (Left to Right) Floor VC curves
X-axis (Left to Right) Active VC curves
Y-axis (Front to Back) Floor VC curves
Y-axis (Front to Back) Active VC curves
참고 도표
VC Curve Criteria
속도 기준으로 두 개의 형태를 비교하면 VC-Curve의 VC-A는 50 um/s이며, 메르칼리 진도 계급의 진도 1은 300 um/s으로 진도 1의 진동 속도가 훨씬 큰 값이다.
진도 1의 진동은 VC-Curve의 VC-A보다 높은 Office(ISO)등급의 400 um/s과 비슷한 수준이다.
Reference
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일12-27-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ZEISS
Xradia 620 Versa
DVIA-MB3000
231005R2
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