설치 보고서
DVIA-M Series
02-19-2020
TESCAN LYRA3 FIB-SEM DVIA-MB1000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
TESCAN
1. 측정 세부사항
측정일
2020년 2월 19일
측정 장비
1. LAN-XI 데이터 수집 하드웨어
– Brüel & Kjær 3050-B-040
2. 데이터 분석 소프트웨어
– Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14
3. 센서
– PCB 가속도계
– 모델: 393B05
측정 위치
2층
2. 장비 정보
제조사
TESCAN
모델
LYRA3 FIB-SEM
바닥 진동 사양
30 Hz 이하: < 10 μm/s
30 Hz 이상: < 20 μm/s
3. 진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
| 플랫폼 치수 | 1140 x 910 x 224 mm | |
|---|---|---|
| 적재 하중 | 500 - 1700 kg | |
| 액추에이터 | 전자기 액추에이터 | |
| 최대 액추에이터 힘 | 수직: 40N, 수평: 20 N | |
| 자유도 | 6자유도 | |
| 액티브 진동 제어 범위 | 0.5 - 100 Hz | |
| 2 Hz 제진률 | ≥90% | |
| 10 Hz 제진률 | ≥99% | |
| 입력 전압(V) | AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A | |
| 전력 소비(W) | 최대 110W, 정상 운전 시 <50 W | |
| 운전 범위 | 온도(°C) | 5 - 50 °C |
| 습도(%) | 20 - 90% | |
| 필요 공기 압력 | ≥ 0.5 MPa | |
4. 설치 사진
5. 요약
진동 기준 곡선
---
| 주파수 범위 | 1-10 Hz | ||
|---|---|---|---|
| 측정 방향 | Z축(수직) | X축(좌우) | Y축(전후) |
| 바닥 | 실패 | 실패 | 실패 |
| 액티브 진동 제어 시스템 위 | 통과 | 통과 | 통과 |
6. 결과
Z축(수직)
X축(좌우)
Y축(전후)
[IMAGE:]
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설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-19-2020
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TESCAN
