설치 보고서

DVIA-M Series

04-06-2016

Hitachi SU3500 SEM DVIA-MB1000 Installation

Installation Report

DVIA-M Series

Hitachi

개요

Hitachi SU3500 SEM DVIA-MB1000 설치

1. 측정 세부사항

측정일: 2016년 4월 6일

측정 장비:

LAN-XI 데이터 수집 하드웨어 – Brüel & Kjær 3050-B-040

데이터 분석 소프트웨어 – Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14

센서 – PCB 가속도계 모델: 393B05

측정 위치: 5층

측정 설정:

대역폭: 0 – 100 Hz

라인: 400

윈도우: Hanning

평균: 고속 푸리에 변환 스펙트럼 평균

진폭 단위: m/s²

스펙트럼 단위: RMS

2. 장비 정보

제조사: HITACHI

모델: SEM SU3500

바닥 진동 사양: VC-E

3. 진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

사양	값
플랫폼 치수	맞춤 제작
적재 하중	500 - 1700 kg
액추에이터	전자기 액추에이터
최대 액추에이터 힘	수직: 40N, 수평: 20 N
자유도	6자유도
액티브 진동 제어 범위	0.5 - 100 Hz
1 Hz 제진률	≥90%
입력 전압	AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A
전력 소비	최대 110W, 정상 운전 시 <50 W
운전 온도	5 - 50 °C
운전 습도	20 - 90%
필요 공기 압력	≥ 0.5 MPa (5 bar)

4. 설치 사진

5. 결과 – 진동 기준 곡선

Z축(수직)

액티브 진동 제어 시스템이 수직 바닥 진동을 VC-C에서 VC-F로 감소시켰습니다.

X축(좌우)

액티브 진동 제어 시스템이 X축 바닥 진동을 VC-B에서 VC-F로 감소시켰습니다.

Y축(전후)

액티브 진동 제어 시스템이 Y축 바닥 진동을 VC-C에서 VC-F로 감소시켰습니다.

6. 결과 – 제진 이미징 효과

HV: 15.00 kV / Mag: 100,000x / 선폭: 500 nm

HV: 30.00 kV / Mag: 100,000x / 선폭: 500 nm

7. 참조

일반 진동 기준

Criterion Curve	Description	Amplitude μm/s (µin/s)	Detail Size μm
Workshop (ISO)	Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.	100 (4,000)	25
VC-A	Adequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.	50 (2,000)	8
VC-B	Appropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.	25 (1,000)	3
VC-C	Appropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	Suitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	For the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	For extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	For extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.	0.78 (31.25)	N/A

*Notes:*

1. As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).

2. Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일04-06-2016

태그

Installation Report

DVIA-M Series

Hitachi

Hitachi SU3500 SEM DVIA-MB1000 Installation

개요

목차

1. 측정 세부사항

2. 장비 정보

3. 진동 제어 시스템 정보

4. 설치 사진

5. 결과 – 진동 기준 곡선

Z축(수직)

X축(좌우)

Y축(전후)

6. 결과 – 제진 이미징 효과

7. 참조

일반 진동 기준

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

관련 케이스 스터디

YIMO Allide (Shanghai) Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-MB1000 (240103R6) Installation Report

Suzhou Xiangcheng Enterprise Technology Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-M1000 (240304R7) Installation Report

YIMO Naura Nanchang Hitachi SU8600 DVIA-ML1000 (240513R2) Installation Report