설치 보고서
DVIA-M Series
05-11-2026
YIMO Allide (Shanghai) Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-MB1000 (240103R6) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
Hitachi
FE-SEM
SU8600
DVIA-MB1000
Contents
개요
DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 240103R6
담당 엔지니어
Chaewon LEE from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2024년 3월 4일
보고서 작성일
2024년 7월 6일
End User
Allide (Shanghai) Optoelectronic Materials Technology Co., Ltd.
튜닝 횟수
1st tuning
설치 위치
Shanghai, China
장비
제조사: HITACHI
장비: FE-SEM
모델: SU8600
장비 상태
The equipment is installed
Tuning Request
Equipment allowable vibration
Vertical – Allowable vibration values
Horizontal – Allowable vibration values
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
좌우 전달률 (두 번째 플롯)
Reference
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-11-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
Hitachi
FE-SEM
SU8600
DVIA-MB1000
