설치 보고서

DVIA-M Series

12-01-2025

Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (YIMO, 2025-12-01)

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Hitachi

SU8600

FE-SEM

DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000 능동 제진대가 의도대로 설치·작동. Hitachi SU8600 FE-SEM, 시리얼 250912R6, 1차 튜닝.

장비 상태: 설치됨 / 본 측정·보고서 기준 Turned off.

진동 제어 시스템

모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 250912R6

엔지니어 대일시스템 이채원

튜닝 날짜 2025년 12월 1일

보고서 작성일 2025년 12월 5일

고객사 장비

Manufacturer: Hitachi / FE-SEM / Model: SU8600

데이터·이미지

수직 / 좌우 / 전후 Transmissibility

장비 사진

현장 정책으로 촬영 불가(Photo Not allowed).

Reference — 하단 VC 기준 표와 동일.

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일12-01-2025

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Hitachi

SU8600

FE-SEM

DVIA-ML1000

Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (YIMO, 2025-12-01)

개요

진동 제어 시스템

고객사 장비

데이터·이미지

장비 사진

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

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