설치 보고서

DVIA-M Series

05-11-2026

YIMO Naura Nanchang Hitachi SU8600 DVIA-ML1000 (240513R2) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Hitachi

SU8600

DVIA-ML1000

개요

DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 240513R2

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2024년 9월 11일

보고서 작성일

2025년 6월 23일

End User

Naura Micro electronicst

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Nanchang

장비

제조사: Hitachi

장비: FE-SEM

모델: SU8600

장비 상태

The equipment is installed/Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일05-11-2026

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Hitachi

SU8600

DVIA-ML1000

YIMO Naura Nanchang Hitachi SU8600 DVIA-ML1000 (240513R2) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

End User

튜닝 횟수

설치 위치

장비

장비 상태

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

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