설치 보고서
DVIA-M Series
09-05-2019
Hitachi SEM SU1510 DVIA-MB1000 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Hitachi
1. 측정 세부사항
측정일
2019년 9월 5일
측정 장비
1. LAN-XI 데이터 수집 하드웨어
– Brüel & Kjær 3050-B-040
2. 데이터 분석 소프트웨어
– Brüel & Kjær PULSE LAB SHOP 14
3. 센서
– PCB 가속도계
– 모델: 393B05
측정 위치
4층
측정 설정
대역폭: 0 – 100 Hz
라인: 400
윈도우: Hanning
평균: 고속 푸리에 변환 스펙트럼 평균
진폭 단위: m/s2
스펙트럼 단위: RMS
2. 장비 정보
제조사
HITACHI
모델
SEM SU1510
바닥 진동 사양
VC-E
3. 진동 제어 시스템 정보
DVIA-MB1000
| 모델 | DVIA-MB1000 | DVIA-MB3000 | DVIA-MB6000 |
|---|---|---|---|
| 플랫폼 치수 (L x W x H) | 맞춤 제작 | ||
| 적재 하중 | 500 - 1700 kg | 1500 - 3500 kg | 3000 - 6000 kg |
| 액추에이터 | 전자기 액추에이터 | ||
| 최대 액추에이터 힘 | 수직: 40 N, 수평: 20 N | 수직: 80 N, 수평: 40 N | |
| 자유도 | 6자유도 | ||
| 액티브 진동 제어 범위 | 0.5 - 100 Hz | ||
| 1 Hz 제진률 | ≥90% | ||
| 입력 전압(V) | AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A | ||
| 전력 소비(W) | 최대 110W, 정상 운전 시 <50 W | ||
| 운전 범위 | 온도(°C) | 5 - 50 °C | |
| 습도(%) | 20 - 90% | ||
| 필요 공기 압력 | ≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar) |
4. 설치 사진
5. 결과
VC 곡선, Z축(수직)
AVI = 액티브 진동 제어
액티브 진동 제어 시스템이 수직 바닥 진동을 VC-C에서 VC-G로 감소시켰습니다.
VC 곡선, X축(좌우)
AVI = 액티브 진동 제어
액티브 진동 제어 시스템이 수직 바닥 진동을 VC-D에서 VC-E로 감소시켰습니다.
VC 곡선, Y축(전후)
AVI = 액티브 진동 제어
액티브 진동 제어 시스템이 수직 바닥 진동을 VC-C에서 VC-E로 감소시켰습니다.
6. 참조
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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시리즈DVIA-M Series
작성일09-05-2019
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Hitachi
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