한국수자원공사 ZEISS GeminiSEM 560 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
Korea Water Resources Corporation (KOWOL)
Korea Water Resources Corporation
ZEISS
FE-SEM
GeminiSEM 560
DVIA-ML1000
260316R3
Contents
개요
DVIF 독립기초위에 설치된 DVIA-ML1000의 초기 설정 및 튜닝을 진행한 후 성능 평가를 위해 그레이팅 하부 바닥과 제진대 상부 진동을 측정하였습니다.
측정한Data를 Auto spectrum 및 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260316R3
엔지니어
김주혁 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.06.12
설치 장소
대전 한국 수자원공사
End User
고객사: 한국수자원공사
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FE-SEM
모델: GeminiSEM 560
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 한도 [µm/s RMS] (Resolution 0.5 Hz) |
|---|---|
| Up to 10 Hz | less than 5 μm/s rms |
| 10 - 60 Hz | less than 10 μm/s rms |
| Above 60 Hz | less than 14 μm/s rms |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 한도 [µm/s RMS] (Resolution 0.5 Hz) |
|---|---|
| Up to 10 Hz | less than 4 μm/s rms |
| 10 - 60 Hz | less than 14 μm/s rms |
| Above 60 Hz | less than 20 μm/s rms |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop2 2 Version
Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | Section 8 참조 | Vertical (Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right (X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back (Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
Z-axis — Transmissibility
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
X-axis — Transmissibility
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
Y-axis — Transmissibility
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ VC-A~B: 8~80 Hz, VC-C~G: 1~80 Hz 옥타브 밴드 측정값
² 정밀도: 마이크로전자 공정에서는 라인 폭, 의료/제약에서는 입자(세포) 크기
³ 프로브 기술, AFM, 나노기술 이미징에는 해당되지 않음
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일06-12-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Korea Water Resources Corporation (KOWOL)
Korea Water Resources Corporation
ZEISS
FE-SEM
GeminiSEM 560
DVIA-ML1000
260316R3
