TESCAN Korea Mira XR FE-SEM DVIA-ULFB700 (260212R2-2) Installation Report — 2026.03.13
Contents
고객사
테스칸 코리아
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
설치 날짜
2026년 3월 12일
튜닝 날짜
2026년 3월 12일
보고서 작성일
2026년 3월 13일
개요
르웨스트시티 B동 2F 테스칸 코리아 Demo룸에 설치된 DVIA-ULFB700 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
튜닝 및 진동 측정 당시 Tescan Mira XR 장비에 부착되어 있는 냉각팬이 제진대 위에서 작동 중이었습니다. 이는 튜닝 및 진동 측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB700
시리얼 넘버: 260212R2-2
설치 장소
르웨스트시티 B동 2F 테스칸 코리아 Demo룸
End User
테스칸코리아
고객사 장비
Manufacturer: TESCAN
Equipment: FE-SEM
Model: Mira XR
장비 스펙
up to 30 Hz: 6 um/s
above 30 Hz: 12 um/s
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
제진대 위에 설치된 냉각팬의 영향으로 일부 구간에서 바닥진동보다 DVIA-ULFB700에서의 진동이 더 크게 측정됩니다. 이는 제진대의 문제가 아닌 장비 진동이 측정된 것입니다.
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정값 바닥진동 | 측정값 DVIA-ULFB700 | 측정결과 바닥진동 | 측정결과 DVIA-ULFB700 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 르웨스트시티 B동 2F 테스칸코리아 DEMO룸 · 1. 바닥진동 · 2. DVIA-ULFB700 | Turned on/IDLE | up to 30 Hz: 6 um/s above 30 Hz: 12 um/s | Vertical | VC-E @ 4 Hz | VC-G @ 4 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-E @ 1 Hz | VC-F @ 1 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-F @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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